陕西光电子先导院先进光子器件创新平台3月30日在西安周全启用。该平台具备光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项焦点工艺，将为光子产业项目提供产物研发、中试、检测等全流程手艺服务，为光子产业种种创新主体买通从产物研发到市场化批量供货的完整链条。

该平台的启用，标志着陕西向打造具有全球影响力的光子产业生态高地的战略目的又迈出了坚实的一步，将吸引更多光子产业创新要素汇聚陕西，培育一批具有先发优势和全球竞争力的光子产业冠军企业，推动光子产业向集群化、规模化、高产值化生长。

实现光子产业链上下游企业群集

记者从陕西光电子先导院领会到，先进光子器件工程创新平台占地30亩，建有中试车间、中试大楼、综合楼和动力站等研发和中试配套设施，总修建面积约30000平方米，清洁厂房3000平方米，一期专业装备100余台（套），具备以GaAs（砷化镓）、GaN（氮化镓）为主线，围绕6英寸化合物芯片工艺服务能力的柔性中试平台，以手艺服务与工程代工相连系的形式，为光子产业孵化项目提供产物研发、中试、检测等全流程手艺服务。

同时，先进光子器件工程创新平台将有用解决第三代化合物半导体芯片制造的外延生长与制程等要害问题，为光电芯片、功率器件、射频器件等芯片设计企业、高校、科研院所提供外延生长、光刻、刻蚀、薄膜制备、洗濯、减薄、抛光、划片等芯片制造全流程服务。

先进光子器件工程创新平台通过与创新企业延续举行团结研发，光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项焦点工艺手艺不停攻克，平台软硬件建设已不停完善，将延续助力光子产业链上下游企业群集。

乐成破解光子企业“两难”逆境

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作为“追光设计”与“秦创原”功效转化及展示平台，陕西光电子先导院努力施展陕西光子产业链“链主”企业作用，通过稀缺平台资源 专业手艺服务，为解决实验室无法工程化创新功效，而成熟芯片代工厂又难以承接小量创新产物产出的两难事态，实现了有用的工程化衔接。

2014年，赛富乐斯半导体科技有限公司研发出半极性氮化镓质料，并耗时三年走到量产阶段。然而，生产所需MOCVD（金属有机化学气相沉积）外延炉装备一台就要耗资上万万，一条光电子芯片产线造价数以亿计，这对于这家险些没有营收的初创企业来说是简直是天文数字。2016年底，陕西光电子先导院自动提出让赛富乐斯按租用的方式使用装备，企业首创人陈辰来到西安实地观光完生产线后，马上决议将公司落户西安。2017年，赛富乐斯正式上线4英寸半极性氮化镓质料，并从 2018年3月最先规模生产及销售，良率到达95%以上，成为全球首家能够量产工业级半极性氮化镓质料的企业。

现在，陕西光电子先导院已培育和群集了近百家光子产业企业，入驻光电子领域企业30余家，其中一半以上为海归高端创业团队，例如耶鲁大学团队、龚平博士团队、张文伟博士团队、程东博士团队等，成为光子领域一流的创新生态和创新高地，在全球光子产业中与外洋保持同步，劈头抢占了光子产业“窗口期盈利”。

助力陕西抢占“光”先机

21 世纪被以为是“光子时代”。当前，全球 IT 产业正处在“从电子到光子”的世代转换历程中，光子产业有望成为 21世纪*战略性、基础性、先导性的新兴产业。

陕西在光子产业方面具有显著优势。一方面，陕西拥有中科院西安光机所、西电、西工大等一批光子学科齐全、特色鲜明的大院大所和高校，科研功效丰盛。另一方面，陕西光子产业集群已初具规模，劈头形成了光子制造、光子信息、光子传感等产业集群。同时陕西在光子手艺产业领域有着深挚的科研基础，高折射率硅光芯片、微纳光波导、光栅耦合器和VCSEL（垂直腔面发射激光器）激光器、半极性GaN（氮化镓）光电芯片衬底质料等方面处于行业*水平。在天下新一轮科技革命和产业转变同我国转变生长方式的历史性交汇要害时期，为赢得先机，陕西推动实行了“追光设计”，抢抓光子产业高速增进的战略时机。

2015年10月，陕西省科技厅、西安高新手艺开发区与中国科学院西安光机所团结提议确立了陕西光电子先导院。陕西光电子先导院先进光子器件创新平台作为陕西省2022年重点建设工程，项目仅用6个月就完成主体封顶，12个月完成了机电工程，14个月完成焦点装备搬入，16个月就实现平台的正式启用，展现了 “追光速率”和“高新效率”。

未来，陕西光电子先导院将驻足光子制造、光子质料与芯片、光子传感三大重点领域，慎密融合秦创原创新驱动平台，在加速统筹谋划“追光设计”的历程中，努力探索光子领域“新型举国体制”的实践履历，引领光电行业生长，拥抱“光子时代”。

中国科学院西循分院院长赵卫示意：“希望陕西光电子先导院先进光子器件创新平台启用后，能够吸引更多光子产业创新要素汇聚陕西，攻关一批引领未来的要害焦点手艺，培育一批具有先发优势和全球竞争力的光子产业冠军企业，推动光子产业进一步向集群化、规模化生长。”